为什么使用硅传感器能够测量差压？

日期：2024-04-24 17:40

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摘要：

为什么使用硅传感器能够测量差压？

硅传感器是在单晶硅片上微加工两个H型振子的装置。如下图所示，由压力膜片通过密封液给硅膜片压力，当单晶硅片受到该压力时会因差压而变形，H型振子一个受到压力，另一个受到拉力。

这个拉力会使H型振子的固有频率发生变化，能够通过两个振子的频率差检测出差压，因此，硅传感器具有灵敏度高，化学及物理特性长期稳定的特点，是性能优良的差压变送器检测部分。