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为什么使用硅传感器能够测量差压?

日期:2019-07-21 01:49
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摘要:
为什么使用硅传感器能够测量差压?
  
 
硅传感器是在单晶硅片上微加工两个H型振子的装置。如下图所示,由压力膜片通过密封液给硅膜片压力,当单晶硅片受到该压力时会因差压而变形,H型振子一个受到压力,另一个受到拉力。

硅传感器

 
这个拉力会使H型振子的固有频率发生变化,能够通过两个振子的频率差检测出差压,因此,硅传感器具有灵敏度高,化学及物理特性长期稳定的特点,是性能优良的差压变送器检测部分。

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