EJA矽膜片諧振式差壓變送器工作原理簡介

日期：2024-05-03 20:18

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摘要：

矽膜片諧振式差壓變送器工作原理簡介

位於高壓端和低壓端的金屬膜片受到過程壓力，通過密封液分彆傳送到單晶矽片的上下兩麵。在單晶矽片中，有2個振子腔體，2個振子的固有頻率之差就是差壓信號。

真空腔體中的振子是經過精細加工的(H型諧振梁的長約700μm，寬約25μm，厚約5μm)。由於振子H型諧振梁的4端與單晶矽連接，所以當單晶矽變形時，振子振動頻率與壓力差成正比例，固有振動頻率發生變化。

通過永磁體給振子一個磁場，振子的半片和剩餘的半片構成一個勵磁電路，測量出該電路的固有頻率，將該固有頻率與另一個振子的固有頻率之差轉換成差壓信號。將差壓信號轉換成4-20mA、脈衝或數字信號輸出。

單晶矽諧振式差壓變送器原理

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