為什麼使用矽傳感器能夠測量差壓？

日期：2024-05-19 13:23

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摘要：

為什麼使用矽傳感器能夠測量差壓？

矽傳感器是在單晶矽片上微加工兩個H型振子的裝置。如下圖所示，由壓力膜片通過密封液給矽膜片壓力，當單晶矽片受到該壓力時會因差壓而變形，H型振子一個受到壓力，另一個受到拉力。

這個拉力會使H型振子的固有頻率發生變化，能夠通過兩個振子的頻率差檢測出差壓，因此，矽傳感器具有靈敏度高，化學及物理特性長期穩定的特點，是性能優良的差壓變送器檢測部分。

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